我们知道，在芯片工艺进入7纳米时代之后，EUV光刻机就登上了历史舞台，而在之后的5纳米、4纳米等工艺上，EUV光刻机就成了一种必然的选择。
由此可见EUV光刻机非常重要，而这么重要的生产设备，全球却只有ASML一家公司可以生产，可见EUV光刻机是如此的精密，但是尽管如此，EUV光刻机却并不是一个完美的机器。
事实上，从EUV光刻机诞生之初，它本身就带有一种“隐疾”，现在来看，这个“隐疾”已经不能不引起重视了。
或许有的朋友不太了解，EUV光刻机与传统的DUV光刻机，并不是简单的在光源上的区别，DUV采用的是纳米波长的深紫外线，而EUV采用的是13.5纳米波长的极紫外线。
事实上，EUV光刻机是光刻机历史上的一次变革，它改变了以往光刻机的生产方式，在DUV时代，通过多重曝光，来实现更小的线宽尺寸，但是EUV通过单次曝光，就可以实现更先进的工艺。
所以我们就看到，台积电、三星在7纳米时，就开始采用EUV工艺，以此来提升生产效率。
然而这么先进的机器，其实是需要付出一定的“代价”的，“高贵”的EUV光刻机内部，对环境的清洁度要求非常苛刻，不仅如此，EUV光刻机的随机性问题凸显，这是EUV光刻机的最大“隐疾”。
根据媒体报道称，台积电的3纳米工艺，在良率提升上的难度飙升，据悉其3纳米良率约在70%左右，这是一个很低的数字。
之前知名半导体研究机构SemiEngineering就发文称：对于EUV而言，随机效应成为主要问题之一，越高级的节点，随机效应越严重。
很显然，当生产工艺推进到3纳米时，由于随机效应的问题变得更加突出，良率问题爆发了，这是ASML不想看到的。
这里我们要解释一下什么是随机效应，简单来说，在采用先进工艺制造芯片的过程中，其需要多达上千个生产步骤，每一个步骤出现问题，都会造成芯片的缺陷。
而随机效应，就是在这一千多个步骤中，都有可能出现问题，它的出现是随机的。
此外，这种随机性，除了体现在生产步骤中，还体现在不同的原因上，也就是说，即便你知道了在某个特定步骤出现了问题，但是在这个步骤上可能不是同一个原因造成的芯片缺陷。
例如在光罩上，可能是某一个光罩本身有瑕疵，要知道EUV光罩的生产良率也不高，也有可能是某个光罩上的灰尘太多了。
随机效应在DUV时代也就有，不过造成的影响不大，一直被芯片代工厂忽略了，但是在EUV时代，它几乎成了影响良率的最大原因。
想必大家也都注意到，本来按照规律，今年台积电就应该量产3纳米工艺，但是量产的却是4纳米。
从以往来看，例如7纳米时，6纳米被当作一个改进工艺，本来4纳米也应该是这样的任务，但是在今年却成了“主角”。
因此这样来看，台积电在3纳米良率上应该是遇到了不小的阻力。
还不止如此，根据媒体报道，在3纳米工艺上，台积电推出了多个版本，目前出现率较高的，是N3、N3e和N3b三个版本。
为什么会出现这么多版本呢？答案就是为了控制成本。
N3e会采用更少的EUV光罩，据悉是20层，而N3版本会采用24层，N3b则会更多。
由于良率难以提升，势必就会造成芯片制造成本的增加，而在高成本下，并不是所有芯片企业都可以承受得起，因此通过减少EUV光罩层数，变相降低制造成本，成为一种选择。
但这种方式，其实对芯片造成了很多方面的牺牲，例如性能表现、能耗表现等等。
可能有的朋友不知道，例如在7纳米时，只需要4层EUV光罩，而5纳米就需要14层。
显然，台积电N3e工艺的20层EUV光罩，应该就是极限了，光罩再少，那么所谓的3纳米工艺，也就没多少意义了，之前ASML方面就已经表示，在3纳米工艺上，EUV光罩要超过20层。
可能有的朋友会问，EUV光罩对成本影响这么大吗？其实在这方面，包括三星在内，都很在意。
例如三星在年时，就斥资亿韩元投资EUV光罩保护膜项目，很显然，这就是要增加EUV光罩的寿命，尽量少用EUV光罩。
而台积电也是如此，在年时，台积电开始导入试产其EUV光罩洁净技术，仅两年时间，就为台积电创造了20亿新台币的改善效益。
此外，目前市场上也开始出现EUV光罩缺陷检测设备，据悉这样的设备，1台的价格就高达3亿人民币。
通过这样的介绍大家应该就能理解，为什么台积电要对EUV光罩“动手”。
不过很显然，EUV光刻机的“隐疾”，已经开始让芯片代工厂“束手无策”，起码现在来看，台积电的3纳米量产时间推迟了，而且甚至要靠降低工艺水平来实现商用量产。
所以有外媒就指出，EUV的随机效应势必会带来一些关键问题，但没想到这么快就出现了。
事实上，EUV光刻机的真正应用，其实是在5纳米，7纳米不采用EUV光刻机也可以实现，然而在步进到第二代的3纳米，问题就暴露了，这样的情况令人始料未及。
所以我们看到，EUV光刻机虽然先进，但是问题也不小，而这时ASML却突然安静了。
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